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高精密精研機(jī)設(shè)備

我公司主要以高精密精研機(jī)設(shè)備為核心生產(chǎn)力，也就是市面上說(shuō)的雙面研磨機(jī)，無(wú)論從性能方面，還是價(jià)格方面，都可以說(shuō)已經(jīng)可以替代進(jìn)口的雙端面研磨機(jī)設(shè)備。

高精密精研機(jī)主要用于硅片、石英晶體、玻璃、陶瓷、藍(lán)寶石、砷化鎵、鈮酸鋰等零件的精研雙面加工，也適用于閥板、閥片、光導(dǎo)纖維、計(jì)算機(jī)儲(chǔ)存盤(pán)及其他片狀金屬、非金屬零件的精研雙面加工。

立式精研機(jī)設(shè)備的主要特點(diǎn)是四驅(qū)動(dòng)雙面精研，上、下金剛石磨盤(pán)作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)且自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)，上、下面同時(shí)均勻磨削，游星輪自轉(zhuǎn)方向可以改變。

高精密精研機(jī)的上、下研磨盤(pán)的平面度可以自動(dòng)修正，研磨量由計(jì)時(shí)控制，電機(jī)變頻調(diào)速，啟停平穩(wěn)，并能選擇理想的磨削速度，研磨壓力分輕、重、輕無(wú)級(jí)可調(diào)。高精密精研機(jī)型另有高檔配置，帶自動(dòng)測(cè)量控制，金剛石研磨盤(pán)供用戶選擇。

高精密精研機(jī)工作原理

高精密精研機(jī)能避免由夾具的粘結(jié)誤差及薄片工件兩面的應(yīng)力差引起的變形問(wèn)題。

研磨的工件放在工件行星輪內(nèi)，上下均有研磨盤(pán)；研磨墊固定在上研磨盤(pán)和下研磨盤(pán)的表面，被加工晶片放在由中心齒輪和內(nèi)齒圈組成的差動(dòng)輪系內(nèi)。研磨壓力則由氣缸加壓上研磨盤(pán)實(shí)現(xiàn)。

為減少研磨時(shí)晶片所受的作用力，一般使上研磨盤(pán)和下研磨盤(pán)分別以大小相等、方向相反的角速度旋轉(zhuǎn)。

晶片的運(yùn)動(dòng)由行星輪帶動(dòng)，同時(shí)上、下研磨盤(pán)研磨壓力的作用下產(chǎn)生自轉(zhuǎn)，因此晶片的運(yùn)動(dòng)是行星運(yùn)動(dòng)和自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的合成運(yùn)動(dòng)。