超精密立式平面研磨機(jī)核心領(lǐng)域
超精密立式平面研磨機(jī)核心領(lǐng)域在很多地方都涉及,在不同熱門(mén)行業(yè)都有杰出的影響,比如汽車(chē)行業(yè),航天航空行業(yè),機(jī)械行業(yè)等。
平面拋光機(jī)的拋光工藝是利用自由散粒磨料在工件被加工面及磨盤(pán)基面上相對(duì)運(yùn)動(dòng),使工件表面變得非常高的平整度及光滑度,工件固定不需要強(qiáng)夾、真空、磁鐵,只是自然地放置在磨盤(pán)上,基本上能適合加工任何金屬和非金屬材料的工件,鏡面研磨機(jī)沒(méi)有了強(qiáng)制性的裝夾及一般磨床的剛性磨削,減少的了沖擊及發(fā)熱產(chǎn)生的次生變形,更用利于高精度和高光潔度的加工。
國(guó)內(nèi)外研磨加工主要還是采用散粒磨料在慢速研磨機(jī)上研磨。其特點(diǎn)是加工精度高、加工設(shè)備簡(jiǎn)單、投資少,但是加工精度不穩(wěn)定、加工成本高、效率低。
正是由于散粒磨料研磨存在一些不足,所以許多學(xué)者在研究改進(jìn)這種研磨加工技術(shù)。
隨著人們對(duì)產(chǎn)品性能的要求日益提高研磨加工以其加工精度和加工質(zhì)量高而越來(lái)越受到了人們的關(guān)注。因此,超精密研磨、拋光等技術(shù)的研究,今后將更引人注目。
平面拋光機(jī)主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。
通過(guò)控制器,產(chǎn)生高頻電振動(dòng)傳輸至換能器上。換能器再將輸入的超音頻電信號(hào)轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng),經(jīng)地變幅桿放大后,傳輸至裝在變幅桿上的工具頭上,再帶動(dòng)附著在工具頭上的金剛石或磨料的懸浮液等高速磨擦工件,致使工件表面粗糙度迅速降低,直至鏡面,從而實(shí)現(xiàn)拋光的功能。
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